高純氣體，通常指利用現(xiàn)代提純技術能達到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氮，氫，，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體。而對于氧氣，純度為4個9即可稱高純氧；對于碳氫化合物，純度為99.99%的即可認為是高純氣體。氧氣是無色，無味，，不燃的氣體，是強氧化劑，能助燃，它與可燃性氣體按一定比例混合后容炸。壓縮氧氣與油脂接觸，溫度超過油脂燃點時可發(fā)生自燃，因此，在與氧氣接觸的地方，只能使用經過認可的材料。